納米真空互聯(lián)實驗裝置入選江蘇省首批重大科技基礎(chǔ)設(shè)施培育支持預(yù)研項目
近日,江蘇省發(fā)展和改革委員會印發(fā)了首批省重大科技基礎(chǔ)設(shè)施培育支持預(yù)研項目名單,中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米真空互聯(lián)實驗裝置(Nano-X)成功入選,標志著該實驗裝置在真空互聯(lián)納米科技領(lǐng)域的研究與發(fā)展邁出了重要一步。
Nano-X作為世界首個集材料生長、器件加工、測試分析為一體的納米科技真空互聯(lián)綜合實驗裝置,不僅是江蘇省尖端技術(shù)創(chuàng)新的重要源頭,也是目前世界最大的真空互聯(lián)科研裝置之一。Nano-X通過超高真空管道將各功能設(shè)備相互連接,有效解決了傳統(tǒng)超凈間模式中難以解決的塵埃、表面氧化和吸附等污染問題,極大地提升了納米級器件研發(fā)和制造的效率。
目前,Nano-X經(jīng)過一期、二期近十年的精心籌備和建設(shè),已經(jīng)完成了從概念驗證到初步建設(shè)的重要階段,各項設(shè)施均已實現(xiàn)高效穩(wěn)定運行,為“新原理、新材料、新器件”等原創(chuàng)性研究和核心技術(shù)突破提供重要建制化、體系化支撐。預(yù)研項目階段,旨在提升真空互聯(lián)下器件原子級制造的關(guān)鍵工藝能力,開創(chuàng)真空互聯(lián)原子級制造的變革性技術(shù)路線,扎實推進項目高質(zhì)量建設(shè),致力于將本設(shè)施打造成為世界領(lǐng)先的大科學(xué)裝置。

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